金屬蝕刻的菲林曝光原理
在感光化學(xué)領(lǐng)域中,蝕刻技術(shù)是用光刻腐蝕加工薄形精密金屬制品的一種加工技術(shù)。原理是在金屬基片上均勻涂抹化學(xué)感光材料,然后再把圖形復制到覆蓋在基片上的感光掩膜,在曝光過(guò)程中除去未感光部分的掩膜,裸露出的部分基片在后續的加工過(guò)程中會(huì )被蝕除。那么,菲林底片在進(jìn)行蝕刻工序的時(shí)候,它又是怎么完成曝光的呢?
首先將需蝕刻的圖形通過(guò)光繪的方式轉移至兩張完全一致的膠片菲林上,或是通過(guò)光刻的方式轉移至兩張完全一致的玻璃菲林上。然后通過(guò)人工對位方式或機器對位方式將菲林對準。再將已涂布感光油墨或貼好感光干膜的鋼片置于菲林中間,即可曝光。曝光時(shí)對應菲林黑色處的鋼片未被感光,對應菲林白色處的鋼片感光,鋼片感光處的油墨或干膜發(fā)生聚合反應。最后經(jīng)過(guò)顯影機,鋼片上被感光的油墨或干膜不被顯影液溶化,而未感光的油墨或干膜在顯影液被溶化去除,這樣需蝕刻的圖形通過(guò)曝光就轉移到鋼片上去了。
曝光是在紫外光照射下,光引發(fā)劑吸收光能分解成游離基,游離基再引發(fā)不聚合單體進(jìn)行聚合交聯(lián)反應,反應后形成不溶于稀堿溶液的立體形大分子結構。曝光一般在自動(dòng)曝光機內進(jìn)行,現在的曝光機根據光源的冷卻方式不同,分為風(fēng)冷和水冷兩種。曝光成像質(zhì)量除干膜光致抗蝕劑的性能外,光源的選擇,曝光的時(shí)間(曝光量)的控制,照相底版的質(zhì)量等都是影響曝光成像質(zhì)量的重要因素。
當曝光不足時(shí),由于單體聚合不徹底,在顯影過(guò)程中,膠膜溶漲變軟,線(xiàn)條不清晰,色澤暗淡,甚至脫膠,在蝕刻過(guò)程中膠膜起翹,滲鍍,甚至脫落;當曝光過(guò)度時(shí),會(huì )造成難于顯影,膠膜發(fā)脆,留下殘膠等弊病。曝光將產(chǎn)生圖像線(xiàn)寬的偏差,過(guò)量的曝光會(huì )使圖形線(xiàn)條變細,使產(chǎn)品的線(xiàn)條變粗。根據顯影后干膜的光亮程度,圖像是否清晰,圖像線(xiàn)寬是否與原底片相符等來(lái)確定適當的曝光時(shí)間。
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